1、大多数的罗茨真空泵 (除直排大气罗茨泵以外)都需与前级泵组合成罗茨泵真空机组应用于各个领域。根据用途不同,罗茨泵机组常用的前级泵有旋片泵、滑阀泵、水环泵等。
罗茨泵与各种前级真空泵组合后的真空机组抽速可以通过计算求出,在以下计算中忽略前级连接管路的流阻影响。
2、罗茨泵工作时的有效气体流量为:Qe = Qth - Qv ( 5.2 )
式中:Qe ──罗茨泵的有效流量,Pa.L/s;Qth──罗茨泵的几何流量, Qth = PA.Sth;Qv 一罗茨泵的泄漏返流流量Qv =Qv1 + Qv2
Qv1 为由于罗茨泵转子之间及转子与泵壳之间的间隙而造成的气体返流量, Qv1 可用下式表达:
Qv1 = U ( Pv - PA ) (5.3)
式中:U ──罗茨泵内上述所有间隙的等效通导;Pv ──罗茨泵排气压力 ( 泵前级压力 );PA ──罗茨泵吸入压力。
Qv2 为罗茨泵转子在高压排气侧吸附及携带返回低压吸入侧的气体量,称返扩散气体量,所以有:
Qv2 = Sr.Pv (5.4)
式中 Sr ──泵返扩散气体的等量抽速。
于是式 (5.2) 可表达成:
Qe = Qth - (Qv1 + Qv2) = PA · Sth - [ U (Pv - PA) + Sr Pv ] (5.5)
根据罗茨泵零流量压缩比 K0 定义:关闭泵进气管路,气体流量为零时,前级真空管路中压力与泵入口压力之比为零流量压缩比 K0 =Pv /PA , 该压缩比的最大值用 K0max 表示,称最大零流量压缩比。令 (5.5) 式中 Qe 等于零 ( 实测中用肓板将泵进气口法兰堵死 ) 则有
PASth - [ U (Pv - PA) + Sr Pv ] = 0(5.6)
3、罗茨泵机组中罗茨泵的有效抽速实际上就是机组的抽速。由以上分析可知,它除了与罗茨泵本身的理论抽速有关外,还决定于泵的最大零流量压缩比 K0max 及前级泵的实际抽速Sv 。对于某一型号的罗茨泵来说, Sth值为已定值, K0max 值由实验测试所得。生产厂家应该在产品样本上给出泵的 K0 曲线,且应规定出 K0值的范围,所生产的泵的 K0max 必须大于或等于规定值。
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